미세 작업을 위한 마이크로-나노 로봇

  • 문찬우 (전자부품연구원 지능메카트로닉스 연구센터) ;
  • 김봉석 (전자부품연구원 지능메카트로닉스 연구센터) ;
  • 박준식 (전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터)
  • 발행 : 2006.07.01