차세대 반도체를 위한 탄소 나노튜브 (Carbon Nanotube) 기술

  • 여인석 (삼성전자 반도체총괄 반도체연구소 공정개발팀) ;
  • 윤홍식 (삼성전자 반도체총괄 반도체연구소 공정개발팀) ;
  • 이선우 (삼성전자 반도체총괄 반도체연구소 공정개발팀) ;
  • 최영문 (삼성전자 반도체총괄 반도체연구소 공정개발팀) ;
  • 이문숙 (삼성전자 반도체총괄 반도체연구소 공정개발팀) ;
  • 정우인 (삼성전자 반도체총괄 반도체연구소 공정개발팀) ;
  • 문주태 (삼성전자 반도체총괄 반도체연구소 공정개발팀)
  • Published : 2006.05.01