High-Speed Femtosecond Laser Micromachining with a Scanner

스캐너를 이용한 고속 펨토초 레이저 가공 기술

  • 손익부 (광주과학기술원 고등광기술연구소) ;
  • 최성철 (광주과학기술원 고등광기술연구소) ;
  • 노영철 (광주과학기술원 고등광기술연구소) ;
  • 고도경 (광주과학기술원 고등광기술연구소) ;
  • 이종민 (광주과학기술원 고등광기술연구소)
  • Published : 2006.09.30

Abstract

We report experimental results on the high-speed micromachining using a femtosecond laser (800 nm, 130 fs, 1kHz) and galvanometer scanner system (Raylase, Germany). Periodic hole drilling of silicon and glass with the scan speed of 1-20 mm/s is demonstrated. Finally, we demonstrate the utility of the femtosecond laser application to ITO patterning by using a high-speed femtosecond laser scanner system.

Keywords