Information Display (인포메이션 디스플레이)

The Korean Infomation Display Society (한국정보디스플레이학회)
권호 표지

LASER Crystallization System for Poly-Si

  • Published : 2006.04.23
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Abstract

Active Matrix Flat Panel Display(AM-FPD)의 경쟁력 향상을 위해서 반드시 필요한 고성능, 고생산성 Thin Film Transistor(TFT)를 제작에 사용하는 결정화 방법 중, 산업화에 가장 근접한 레이저 결정화 방법 및 장비에 대해서 기술한다.

Keywords

References

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