화학기상증착법으로 기판에 직접 성장된 탄소나노튜브 이중 게이트 전계 방출 어레이

  • 한인택 (삼성종합기술원 Display Device and Materials Lab)
  • 발행 : 2006.10.23

초록

화학기상증착법을 이용하여 이중 게이트 구조에 탄소나노튜브를 직접 성장시켰으며, 제작된 FEA는 91%의 픽셀간 균일도, 스캔 전압 70V 미만, 데이터 전압 30V 미만을 실현하였다. 또한 0.699mm pixel ptich의 동영상 이미지 구현을 시연하였다.

키워드

참고문헌

  1. N. deJonge, M. Allioux, M. Doytcheva, K. B. K. Teo, R. G. Lacerda, and W. I. Milne, Appl. Phys. Lett. 85, 1067 (2004)
  2. H. Murakami, M. Hirakawa, C. Tanaka, and H. Yamakawa, Appl. Phys. Lett. 76, 1776 (2000) https://doi.org/10.1063/1.126164
  3. A. M. Rao, D. Jacques, R. C. Haddon, W. Zhu, C. Bower, and S. Jin, Appl. Phys. Lett. 76, 3813 (2000) https://doi.org/10.1063/1.126790
  4. I. T. Han, H. J. Kim, Y. J. Park, N. Lee, J. E. Jang, J. W. Kim, J. E. Jung, and J. M. Kim, Appl. Phys. Lett. 81, 2070 (2002) https://doi.org/10.1063/1.1506408
  5. Q. H. Wang, M. Yan, and R. P. H. Chang, Appl. Phys. Lett. 78, 1294 (2001) https://doi.org/10.1063/1.1351847
  6. Y. S. Choi, J. H. Kang, Y. J. Park, W. B. Choi, C. J. Lee, S. H. Jo, C. G. Lee, J. H. You, J. E. Jung, N. S. Lee, and J. M. Kim, Diamond. Rel. Mater. 10, 1705 (2001) https://doi.org/10.1016/S0925-9635(01)00399-5
  7. Y. S. Choi, Y. S. Cho, J. H. Kang, Y. J. Kim, I. H. Kim, S. H. Park, H. W. Lee, S. Y. Hwang, S. J. Lee, C. G. Lee, T. S. Oh, J. S. Choi, S. K. Kang, and J. M. Kim, Appl. Phys. Lett. 82, 3565 (2003) https://doi.org/10.1063/1.1575937
  8. L. Dvorson and A. I. Akinwande, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 53 (2002) https://doi.org/10.1116/1.1428278
  9. J. H. Choi, A. R. ZoulKorneev, Y. W. Jin, Y. J. Park, D. S. Chung, B, K. Song, I. T. Han, H. W. Lee, S. H. Park, H. S. Kang, H. J. Kim, J. W. Kim, J. M. Kim, H. G. Baek, and S. G. Yu, Appl. Phys. Lett. 84, 1022 (2004) https://doi.org/10.1063/1.1645315
  10. D. S. Chung, S. H. Park, H. W. Lee, J. H. Choi, S. N. Cha, J. W. Kim, J. E. Jang, K. W. Min, S. H . Cho, M. J. Yoon, J. S. Lee, C. K. Lee, J. H. Yoo, J. M. Kim, J. E. Jung, Y. W. Jin, Y. J. Park, and J. B. You, Appl. Phys. Lett. 80, 4045 (2002) https://doi.org/10.1063/1.1480104
  11. S. Kumagai and Y. Hatano, Proceeding of International Display Workshop '04, pp. 1187, Niigata, Japan, 2004