초록
스크롤 펌프는 초청정 진공 시스템에서 많이 사용되고 있지만 막상 수소 배기 특성에 대해서 잘 알려져 있지 않다 이런 정보부족은 수소를 다량 사용하는 핵융합 실험장치에서 스크롤 점프가 사용 가능한지 판단하기 어렵게 만든다 이 논문에서는 특히 수소에 대한 스크롤펌프의 배기속도, 압측비 및 역류특성을 측정하기 위해 구성한 실험장치, 측정절차와 실험결과에 대해 기술하고 논의했다.
The scroll pump is widely used in ultra clean vacuum systems. However, there is no commonly available information on the hydrogen pumping characteristics of this pump, which creates a difficulty in determining whether the scroll pump can be used or not in a fusion experiment system where hydrogen ,is the main working gas. In this paper the experimental setup, measurement procedures, experimental results, and discussions on the pumping speed, the maximum compression ratio and the back-streaming properties of the scroll pump, especially for the hydrogen gas, are reported.
