펄스형 초음파 신호에서 비선형 파라미터의 정밀 추정

Precise Estimation of Nonlinear Parameter in Pulse-Like Ultrasonic Signal

  • 하욥 (한양대학교 대학원 정밀기계공학과) ;
  • 장경영 (한양대학교 기계공학부) ;
  • ;
  • 발행 : 2006.04.30

초록

초음파 비선형성은 적층 구조물 내부의 미세크랙이나 계면 들뜸을 검출하기 위한 수단으로 주목받고 있다. 비선형 초음파의 특징적인 현상은 전파 과정중에 고조파가 발생되는 것이다. 그러므로 비선형성의 정량화를 위해서는 수신된 초음파 신호에 포함된 고조파 성분의 검출이 중요하며, 일반적으로 2차 조화 성분과 기본 주파수 성분의 진폭비가 비선형 파라미터로 이용되고 있다. 그러나 이 비선형 파라미터를 정확하게 추정할 수 있는 방법이 확립되어 있지 않기 때문에 현재까지는 현장적용에 어려움을 겪고 있다. 본 연구에서는 초음파 비선형 파라미터의 정밀 추정을 위한 신호 처리 기술을 제안하고자 한다 이 기술은 파워 스펙트럼과 바이스펙트럼 분석에 기초하며, 특히 본 연구에서는 초음파 현미경(SAM, scanning acoustic microscope)에 사용되는 펄스형 신호로부터 고조파를 검출하는데 주목하였다. 제안된 기법의 유효성은 틈새의 크기가 접촉 중심에서 반경 방향으로 일정하게 증가하는 뉴턴링(Newton-ring)과 칩의 윗면에 국부적인 들뜸을 가진 반도체 샘플에 대한 실험을 통해 검증되었다. 결과적으로 제안된 신호처리기법에 의해 획득된 비선형 파라미터는 계면 들뜸과 좋은 상관성을 보였다.

Ultrasonic nonlinearity has been considered as a solution for the detection of microcracks or interfacial delamination in a layered structure. The distinguished phenomenon in nonlinear ultrasonics is the generation of higher-order harmonic waves during the propagation. Therefore, in order to quantify the nonlinearity, the conventional method measures a parameter defined as the amplitude ratio of a second-order harmonic component and a fundamental frequency component included in the propagated ultrasonic wave signal. However, its application In field inspection is not easy at the present stage because no standard methodology has yet been made to accurately estimate this parameter. Thus, the aim of this paper is to propose an advanced signal processing technique for the precise estimation of a nonlinear ultrasonic parameter, which is based on power spectral and bispectral analysis. The method of estimating power spectrum and bispectrum of the pulse-like ultrasonic wave signal used in the commercial SAM (scanning acoustic microscopy) equipment is especially considered in this study The usefulness of the proposed method Is confirmed by experiments for a Newton ring with a continuous air gap between two glasses and a real semiconductor sample with local delaminations. The results show that the nonlinear parameter obtained tv the proposed method had a good correlation with the delamination.

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참고문헌

  1. O. Buck, W.L. Morris and J.M. Richardson, 'Acoustic harmonic generation at unbonded interfaces and fatigue cracks,' Appl. Phys. Lett.,Vol. 33, pp. 371-373, (1978) https://doi.org/10.1063/1.90399
  2. S. Hirose and J.D. Achenbach, 'Higher harmonics in the far field due to dynamic crack-face contacting,' J. Acoust. Soc. Am., Vol. 193, pp. 142-147, (1993)
  3. T.G. Muir, 'Nonlinear effects in acoustic imaging,' Acoust. Imag., Vol. 9, pp. 93-107, (1980)
  4. K.Y. Jhang, J. Ha and H.S. Jang, 'Detection of micro-delamination in electronic packaging by using the ultrasonic nonlinearity,' Key Engineering Materials, Vol. 270-273 pp. 1761-1766, (2004) https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.270-273.1761
  5. I.Yu. Solodov, N. Krohn and G. Busse, 'CAN: an example of nonclassical acoustic nonlinearity in solids,' Ultrasonics, Vol. 40, No. 1/8, pp. 621-625, (2002) https://doi.org/10.1016/S0041-624X(02)00186-5
  6. J. Ha and KY. Jhang, 'Nonlinear ultrasonic method to improve the evaluation reliability of micro-delamination in electronic packaging,' Key Engineering Materials, Vol. 297-300, pp. 813-818, (2005)
  7. K C. Kim and KY Jhang, 'Estimation of nonlinear acoustic parameter using bispectral analysis,' JSME International C, Vol. 44, pp 20-24, (2001) https://doi.org/10.1299/jsmec.44.20
  8. C.L. Nikias and M.R. Raghuveer, 'Multi-dimensional parametric spectral estimation,' International Journal of Electrical Engineering Education, Vol. 9, No. 3, pp. 191-205, (1985)
  9. K Sasaki, 'An automatic determination of smoothing bandwidth in B-T method for power spectral estimation,' J. Sound & Vib., Vol. 247, pp. 165-173, (2001) https://doi.org/10.1006/jsvi.2001.3622
  10. K. Sasaki and T. Shirakata, 'Observed data oriented bispectral estimation of stationary non-gaussian signals-automatic determination of smoothing bandwidth of bispectral windows,' Proc. of Int. Conf. on Control, Automation and Systems, pp. 502-507, (2003)
  11. Joint IPC/JEDEC Standard J-STD-020A, moisture/reflow sensitivity classification for nonhermetic solid state surface mount devices, (1999)