마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제13권4호
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- Pages.65-70
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- 2006
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
탄소 나노튜브의 성장 및 후처리 조건에 따른 이산화질소 감지특성의 변화
The Change of $NO_{2}$ Sensing Characteristics for Carbon Nanotubes with Growth and Post Treatment Conditions
초록
CVD 및 PECVD법으로 탄소 나노튜브를 성장하고, 그 후
Carbon nanotubes (CNT) grown by chemical vapor deposition (CVD) and plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), and followed by annealing at