초록
본 논문에서는 실리카 기반의 다중모드 간섭기를 이용하여 적은 초과손실을 갖는 $1{\times}16$ 마하젠더 스위치에 대한 설계 및 측정결과에 대하여 논하였다. 제작된 $1{\times}16$ 마하젠더 스위치는 마하젠더 간섭계(Mach-Zehnder Interferometer, MZI) 구조를 갖는 $2{\times}2$ 열광학스위치를 단위소자로 하였으며, 15개의 단위소자를 이용하여 4단(stage)으로 구성하였다. 먼저 광분배기와 $2{\times}2$ MZI 열광학 스위치등의 개별적인 특성을 파악하였고, 그 결과를 전체 소자의 설계에 적용함으로써 보다 좋은 성능을 얻을 수 있었다. 제작된 다중모드 간섭기를 이용한 MZI 구조의 단위스위치 당 초과손실은 최소 -0.5dB로 측정되었다.
A $1{\times}16$ thermo-optic switch with small excess loss using multimode interference(MMI) couplers is designed, fabricated, and measured. This paper introduces the proposed $1{\times}16$ thermo-optic switch, and discusses the measurement results. The $1{\times}16$ thermo-optic switch is farmed as 4-stage which consists of 15 unit devices. The unit devices are the $2{\times}2$ thermo-optic switches with Mach-Zehnder interferometer(MZI) structure. The characteristics of the $1{\times}16$ thermo-optic switch depends strongly on each unit device. The unit deviceconsists of two 3-dB general interference MMI couplers and two single mode waveguide arms as a phase shifter. First of all, the 3-dB optical splitter and $2{\times}2$ MZI thermo-optic switch have been tested to confirm the characteristics of the unit devices of the $1{\times}16$ MZI thermo-optic switch. Using the measurement results of the unit devices, the $1{\times}16$ MZI thermo-optic switch can be produced with better characteristics. The resultant structure of the MMI coupler with the optical light source of wavelength of 1550nm for the $1{\times}16$ thermo-optic switch is that the width and the optimized length are $25{\mu}m\;and\;1580{\mu}m$, respectively. The smallest excess loss fur the unit device is -0.5dB and the average excess loss is -0.7dB.
