Photomask 고해상도 검사기에서 설계 데이터 비교 알고리즘

The comparative algorithm of the design data in the photomask inspection machine with high resolution

Photomask 고해상도 검사기를 개발함에 있어서 기계 설계, 제어 설계, 소프트웨어 설계 등 3개의 카테고리가 필요하다. 그 중에서 소프트웨어 설계는 CAD 데이터와 Photomask로부터 카메라로 읽어 들인 실제 영상과의 비교를 통하여 불량을 검출한다. 픽셀 단위로 비교하기 때문에 전체 영역이 커서 블록으로 나누어서 비교하는 블록 매칭 알고리즘을 사용한다. 그리고 기계 조립 정도에서 오는 오차를 보정하기 위하여 Calibration 알고리즘을 쓰고, Photomask의 곡면을 보정하기 위하여 카메라 사전 초점 알고리즘을 제시한다.

Three categories such as the design of a machine, control and software are necessary in the development of the photomask inspection machine with high resolution. Among them, the design of a software detects inferiority through the comparison of CAD data and real data read by camera from photomask. The block matching algorithm is used since the domain is large and the comparison of data by pixel is accomplished. To correct the error arising from the assembly of a machine, calibration algorithm is used and prefocusing algorithm is suggested to correct the surface of the photomask.