A Study on Driving System and Constant Output System for a Low Pressure UV Lamp

저압 UV램프 구동시스템 및 출력안정화 시스템에 관한 연구

The target of this research is a design of constant and high efficiency driving system for a low pressure UV lamp. An UV lamp system is one of wide range electrical equipments for semiconductor manufacturing and sterilization, etc... It is essential the technique of constant output for high added value device. A design target of driving system for low pressure UV lamp of conversion efficiency is 90[%], UV lamp of output stability within ${\pm}7.5[%]$, and lamp power is over 200[W]. The results meet the target of this study well, and have a benefit of domestic market occupation and enable to export. And if protection circuits were developed, it increases the stability of a electronic ballast for UV lamps.

본 연구의 목표는 안정된 출력과 높은 효율을 갖는 저압 UV램프의 구동시스템을 설계하는 것이다. UV램프 시스템은 반도체공정, 살균 등 그 적용범위가 대단히 넓은 전력설비의 하나이며 고부가가치의 제품을 생산하기 위해서는 출력의 안정화 기술은 필수적이다. 본 연구에서 저압 UV램프의 구동시스템 설계 목표는 변환효율 90[%], 출력안정도 ${\pm}7.5[%]$, 램프출력은 300[W] 이상으로, 연구목표에 상응하는 결과를 얻을 수 있었으며 국내시장 선점에 유리할 것이고, 제품의 생산비를 낮추는 시도를 계속한다면, 수출도 가능할 것으로 예상된다. 또한 부가적인 보호회로가 개발되면, 자외선램프용 전자식 안정기의 신뢰성을 크게 재고시킬 것이다.