Enlargement of Field-of-View (FOV) of the CCD Camera by the Current Adjustment of the Projection Lens System in the KBSI-HVEM

KBSI-HVEM 투사렌즈 전류제어에 의한 CCD Camera의 Field of View(FOV) 확장

  • Kim, Young-Min (Division of Electron Microscopic Research, Korea Basic Science Institute) ;
  • Shim, Hyo-Sik (Technical Support Division, JEOL Korea Ltd.) ;
  • Kim, Youn-Joong (Division of Electron Microscopic Research, Korea Basic Science Institute)
  • 김영민 (한국기초과학지원연구원 전자현미경연구부) ;
  • 심효식 (지올코리아 (주) 기술지원본부) ;
  • 김윤중 (한국기초과학지원연구원 전자현미경연구부)
  • Published : 2005.12.01

Abstract

A FOV (field-of-view) of the HV-MSC (high voltage multi-scan CCD, $1024{\times}1024$ pixels) camera mounted in the post-column HV-GIF (high voltage gatan image filter) has been drastically enlarged by the projection lens current adjustment. An imaging area of the HV-MSC camera obtained at the lowest magnification (2,000x) is $112{\mu}m^2$ which corresponds to the recording area of the film at the magnification of 8,800x, while the achievable recording area is only $0.43{\mu}m^2$ at the same magnification without this technique. Ignoring the image distortion of less than 5%, we have designed an on-site reference graph to estimate projection lens currents for microscope magnifications above 8,800x, where the recording area on the HVMSC is same as that on the film.

초고전압 투과전자현미경 (HVEM)에 장착된 postcolumn 방식의 HV-GIF (high voltage gatan image filter)의 영상기록 장치인 HV-MSC (high voltage multi-scan CCD, $1024{\times}1024$픽셀) 카메라의 결상영역은 현미경 최소 관찰 배율인 2,000배에서 $0.43{\mu}m^2$로서 동일 배율에서 필름 기록영역($2000{\mu}m^2$)에 비해 약 0.02%에 해당하는 매우 적은 영역이다. 이러한 결상 영역 제한성을 개선하고자 투사렌즈 전류조절 기법을 도입하였으며 본 연구의 결과로 HV-MSC의 결상영역은 $112{\mu}m^2$로 비약적으로 증가하였다. 이는 약 8,800배에서 필름으로 기록할 수 있는 영역과 동일하였다. 이와 더불어 투사렌즈 조절에 따른 이미지 변형정도를 약 5%이하까지 허용하고 8,800배 이상에서 필름 기록영역과 동일한 HV-MSC 결상영역을 확보할 수 있는 실험적인 참조곡선을 고안하였다.

Keywords

References

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