마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제12권3호
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- Pages.227-233
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- 2005
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
탄소 나노튜브를 이용한 이산화질소 감지 센서의 특성
[ $NO_2$ ] Gas Sensing Characteristics of Carbon Nanotubes
초록
알루미나 기판에 빗살 모양의 금 전극을 형성한 후 플라즈마 화학기상법으로 탄소 나노튜브를 성장하여 이산화질소 감지 특성을 조사하였다. 탄소 나노튜브 센서의 전기저항은 온도 증가에 따라 감소하는 반도체 특성을 보였으며, 또한 이산화질소의 농도가 증가하면 센서의 전기 저항은 감소하였다. 이산화질소의 흡착에 따라 탄소 나노튜브 센서의 전기저항은 초기 3분 이내에서는 급격히 감소하였으며
Carbon nanotubes (CNT) which were grown, on the alumina substrate with a pair of comb-type Au electrodes, by plasma enhanced chemical vapor deposition have been investigated for