Journal of the Microelectronics and Packaging Society (마이크로전자및패키징학회지)
- Volume 12 Issue 3 Serial No. 36
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- Pages.227-233
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- 2005
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
[ $NO_2$ ] Gas Sensing Characteristics of Carbon Nanotubes
탄소 나노튜브를 이용한 이산화질소 감지 센서의 특성
Abstract
Carbon nanotubes (CNT) which were grown, on the alumina substrate with a pair of comb-type Au electrodes, by plasma enhanced chemical vapor deposition have been investigated for
알루미나 기판에 빗살 모양의 금 전극을 형성한 후 플라즈마 화학기상법으로 탄소 나노튜브를 성장하여 이산화질소 감지 특성을 조사하였다. 탄소 나노튜브 센서의 전기저항은 온도 증가에 따라 감소하는 반도체 특성을 보였으며, 또한 이산화질소의 농도가 증가하면 센서의 전기 저항은 감소하였다. 이산화질소의 흡착에 따라 탄소 나노튜브 센서의 전기저항은 초기 3분 이내에서는 급격히 감소하였으며