Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Development of a national medium vacuum standard by static expansion method

정적법을 이용한 중진공 국가표준기 개발

  • Hong S. S. (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Lim I. T. (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Shin Y. H. (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Chung K. H. (Vacuum Center, Korea Research Institute of Standards and Science)
  • 홍승수 (한국표준과학연구원 물리표준부 진공센터) ;
  • 임인태 (한국표준과학연구원 물리표준부 진공센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 물리표준부 진공센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 물리표준부 진공센터)
  • Published : 2005.06.01
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Abstract

We developed a national medium vacuum standard by static expansion method. A 133 Pa capacitance diaphragm gauge was calibrated and analysed according to the document of 'Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement' of ISO. The results showed that the expanded uncertainty of $2.628\times10^{-3}$ Pa at $95\%$ confidence level and coverage factor of k=2.

부피가 다른 세 개의 진공용기를 조합하여 정적법 (static expansion method)을 이용한 중진공영역의 국가표준기를 개발하였다. 이 장치를 이용하여 133pa 범위의 용량형 진공게이지 (capacitance diaphragm gauge)를 교정하여 국제표준화기구의 측정불확도 표현지침에 따라 분석하였다. 그 결과 표준압력 0.553Pa에서의 확장불확도 (expanded uncertainty)가 95% 신뢰수준 (confidence level), 포함인자 (coverage factor) k=2에서 $2.628\times10^{-3}Pa$로 우수한 성능을 보였다.

Keywords

References

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