참고문헌
- 기술경영연구원, '나노 시장, 기술 분석', 2001
- Taniguchi, N., 'The state of the art of nanotechnology for processing of ultraprecision and ultrafine products', ASPE, Vol. 16, No. 1, pp. 5-24, 1994
- 국가과학기술위원회, 국가기술지도 2 단계, 초정밀 가공시스템 기술, 2002.12
- 산업자원부, 한국산업기술재단, '정밀제어기기 기술로드맵', 2004.6
- 산업자원부, 'IT 기반 나노제어 시스템 개발 산업분석', 2002
- Iwanitz, Frank and Lange, Jurgen, 'OLE for Process Control', Huthig Verlag Heidelberg, 2001