극초단 펄스 레이저를 이용한 미세 패터닝기술

  • 이재훈 (한국기계연구원 레이저응용시스템그룹) ;
  • 서정 (한국기계연구원 레이저응용시스템그룹) ;
  • 신동식 (한국기계연구원 레이저응용시스템그룹)
  • Published : 2004.12.01