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Characteristics of Non-thermal Plasma Generation by Duty Ratio and Frequency of Pulse Voltage

펄스고전압의 시비율과 주파수에 따른 비열플라즈마 발생특성

  • 박승록 (국립금오공과대학교 전자공학부 BK21) ;
  • 김진규 (상주대학교 전자전기공학부)
  • Published : 2004.09.01

Abstract

The effects on non-thermal plasma generation by duty Ratio and frequency of pulse voltage were investigated experimentally. For these, a new type of non-thermal plasma generator with mesh electrode was manufactured and it was possible to generate the surface and silent discharge simultaneously by new type of non-thermal plasma generator. Duty ratio and frequency were selected as main parameters to control the movement of electron which is mainly related to the non-thermal plasma generation. The characteristics of non-thermal plasma generation were investigated indirectly by measuring the I-V curve and quantity of ozone generation. The most effective condition of duty ratio and frequency to generate the non-thermal plasma was identified by experiments with manufactured non-thermal plasma generator.

고주파 고전압 펄스전원을 제작하고 발생되는 펄스고전압의 시비율과 주파수가 비열플라즈마 발생에 미치는 영향을 실험적으로 조사하였다. 실험에 사용된 비열플라즈마 발생장치는 그물형의 방전전극을 사용한 새로운 형태로써 연면방전과 유전체 장벽방전을 동시에 이용할 수 있는 구조로 제작하였다. 비열플라즈마의 발생에 영향을 주는 주요인자는 방전에 의해 발생된 전자로써 이들의 움직임을 효과적으로 제어하기 위한 주요변수로써 시비율과 주파수를 선택하였으며 이 두 가지 변수는 전원의 효율에 관계된 전력소비량과도 직접적인 연관이 있다. 비열플라즈마 발생특성은 전류-전압특성과 방전에 의해 발생된 오존발생량을 측정함으로써 간접적으로 조사되었다. 실험결과 제작된 고주파 고전압 펄스발생장치에 의해 가장 효과적인 비열플라즈마를 발생시키는 시비율과 주파수조건을 확인할 수 있었다.

Keywords

References

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