Journal of the KSME (기계저널)
- Volume 44 Issue 12
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- Pages.51-55
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- 2004
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- 1226-7287(pISSN)
AFM을 이용한 기계적 물성 측정
Abstract
이 글에서는 AFM을 이용한 미소 구조물의 기계적 물성 측정 방법 중 기계적 물성 측정을 위한 대칭형 AFM 캔틸레버의 고안, 제작, 보정 및 측정 방법을 중심을 기술한다.
Keywords
이 글에서는 AFM을 이용한 미소 구조물의 기계적 물성 측정 방법 중 기계적 물성 측정을 위한 대칭형 AFM 캔틸레버의 고안, 제작, 보정 및 측정 방법을 중심을 기술한다.