Development of Laser Direct Writing for Fabrication of Optical Waveguide Pattern

광도파로 패턴 제작을 위한 레이저 묘화 시스템 개발

  • 이응숙 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부) ;
  • 조성학 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부) ;
  • 김정민 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부)
  • Published : 2004.09.01