Ceramist (세라미스트)
- Volume 7 Issue 3
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- Pages.28-33
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- 2004
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- 1226-976X(pISSN)
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- 2586-0631(eISSN)
HAR-MEMS 공정과 그를 이용한 미세 열유체 응용 연구
Abstract
1987년 미국 버클리 대학의 연구진은 반도체 미세공정 기술을 이용해 머릿카락 굵기의 초소형 모터를 발표하였다(Fig. 1).1) 이는 MEMS(Micro Electro Mechanical System, 혹은 MST , Micro System Technology)라는 새로운 학문 분야의 실질적 효시로, 명실공히 마이크론 단위의 기계-전자 시스템의 구현이라는 새로운 장을 열게되었다. (중략)
Keywords