E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제17권6호
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- Pages.17-21
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- 2004
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
나노선 연구에 있어서의 전자빔 식각기술의 응용
초록
1948년 J. Bardeen 등에 의해 발명된 게르마늄 트랜지스터 이래로 반도체 공업은 숨 가쁘게 발전하여 현재는
키워드
1948년 J. Bardeen 등에 의해 발명된 게르마늄 트랜지스터 이래로 반도체 공업은 숨 가쁘게 발전하여 현재는