열처리공학회지 (Journal of the Korean Society for Heat Treatment)
- 제16권6호
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- Pages.329-334
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- 2003
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- 1225-1070(pISSN)
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- 2508-4046(eISSN)
이온빔 스퍼터링에 의해 제조된 (Ti,Al)N 박막의 미세구조 및 기계적 특성
Microstructure and Mechanical Properties of (Ti,Al)N Films Deposited by Ion Beam Sputtering
- 오영교 (충북대학교 공과대학 재료공학과) ;
- 백창현 (충북대학교 공과대학 재료공학과) ;
- 홍주화 (충북대학교 공과대학 재료공학과) ;
- 위명용 (충북대학교 공과대학 재료공학과) ;
- 강희재 (충북대학교 자연과학대학 물리학과)
- Oh, Y.G. (Department of Materials Engineering, Chungbuk National University) ;
- Baeg, C.H. (Department of Materials Engineering, Chungbuk National University) ;
- Hong, J.W. (Department of Materials Engineering, Chungbuk National University) ;
- Wey, M.Y. (Department of Materials Engineering, Chungbuk National University) ;
- Kang, H.J. (Department of Physics, Chungbuk National University)
- 투고 : 2003.10.16
- 발행 : 2003.11.30
초록
Microstructure and mechanical properties of