MEMS 신뢰성 평가 기술의 현황과 필요성

  • Published : 2003.06.01

Abstract

이 글에서는 MEMS 신뢰성 평가 기술의 필요성에 대하여 알아보고, MEMS 신로성 평가 기술의 국.내외의 연구 동향에 대해 설계된다.

Keywords