Abstract
To investigate whether the use of hard magnetic film is available to generate bias magnetic field for a magnetoimpedance sensor, the magnetic properties of SmCo hard magnetic films were investigated as a function of their compositions. The saturation magnetization decreased with Sm content increasing in SmCo films. And, the coercive force increased in the extent of Sm content of 28 at%, but decreased as Sm content increased moreover. The bias field effect of SmCo film to amorphous CoZrNb film was investigated with the magnetization corves, permeabilities, and magnetic domain structures of SmCo/CoZrNb multilayers. The bias field of about 60 Oe was observed in the film with 3 mm ${\times}$ 0.5 mm, which can be constructed as a MI sensor, and this result strongly indicates that the bias field generated from a hard magnetic film is adequate to enhance the sensitivity of a MI sensor with hard/soft magnetic multilayer structure.
경자성박막을 이용한 자기임피던스센서의 바이어스 자계 인가의 유용성을 알아보기 위해서, SmCo 경자성박막의 조성에 따른 자기적 특성과 이 박막이 아몰퍼스 CoZrNb 연자성박막에 미치는 바이어스 효과에 대하여 조사하였다. 아몰퍼스상을 가지는 SmCo 경자성박막의 포화자화는 Sm 조성이 증가함에 따라 감소하였으며, 보자력은 Sm 조성의 증가에 따라 증가하다가 28 at% 부근에서 약 500 Oe를 나타낸 후 다시 감소하였다. SmCo 박막에 의해서 발생된 바이어스 자계가 CoZrNb 박막에 미치는 효과는 자화곡선과 투자율의 측정, 그리고 자구관찰을 통하여 조사되었다. MI센서로 사용이 가능한 3${\times}$0.5 $\textrm{mm}^2$ 크기의 박막시료에 있어서, 약 60 Oe의 바이어스 자계가 얻어졌으며, 센서의 감도를 최적화하기에 충분한 바이어스 자계를 경자성박막을 이용하여 발생시킬 수 있음을 입증하였다.