전자공학회지 (The Magazine of the IEIE)

대한전자공학회 (The Institute of Electronics and Information Engineers)
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GaN 계열 양자점 소자 연구 동향

  • 발행 : 2003.05.01
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초록

지금까지 GaN 계열 물질의 양자점 소자 관련 연구 동향을 양자점 구현 방식을 중점으로 하여 살펴보았다. GaN 계열 물질의 양자점을 구현하는 방법은 S-K 성장모드를 이용한 자발형성 양자점 구현법, anti-surfactaant를 이용하는 방법, selective epitaxy를 이용한 양자점 구현법 등이 시도되고 있다. 현재 GaN 계열 물질의 양자점 소자 연구는 아직 충분한 연구가 이루어지짖 않은 관계로 optical pumping을 통한 LD lasing 구현에 머무르고 있는 실정이다. 후 소자로의 응용을 위해서는 여러 가지 문제점이 해결되어야 한다. 우선 우수한 결정성을 지니는 양자점의 성장이 이루어져야 한다. 이외에도 각 구현 방법 별로 GaN 및 AlGaN 양자점 성장용 기판으로 많이 사용되는 높은 조성의 AlGaN 및 AlN의 doping 기술 개발, patterning 기술의 개선을 통한 미세 공정 개발 등의 여러 가지 과제들이 남아 있다. 그러나, 양자점이 지진 우수한 특성과 이를 이용한 높은 응용 가능성을 고려할 때 GaN 계열 양자점 소자의 전망은 밝다고 할 수 있다.

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참고문헌

  1. Appl. Phys. Lett. v.40 no.11 Y.Arakawa;H.Sakaki
  2. J. Appl. Phys. v.87 Ⅲ-nitrides : Growth, characterization, and properties S.C.Jain;M.Willander;J.Narayan;R.Van Overstraeten
  3. phys. stat. sol. (b) v.224 no.1 Progress in Growth and Physics of Nitride-Based Quantum Dots Y.Arakawa;T.Someya;K.Tachibana
  4. Appl. Phys. Lett. v.80 no.21 High-density and size-controlled GaN self-assembled quantum dots grown by metalorganic chemical vapor deposition M.Miyamura;K.Tachibana;Y.Arakawa
  5. Jpn. J. Appl. Phys. v.38 no.12A Strong carrier localization in GaInN/GaN quantum dots grown by molecular beam epitaxy B.Damilano;S.Vezian;N.Grandjean;J.Massies
  6. Appl. Phys. Lett. v.76 no.12 Self-assembled InGaN quantum dots grown by molecular-beam epitaxy C.Adelmann;J.Simon;G.Feuillet;N.T.Pelekanos;B.Daudin;G.Fishman
  7. phys. stat. sol. (b) v.216 GaN quantum structures with fractional dimension-from quantum well to quantum dot S.Tanaka;I.Suemune;P.Ramvall;Y.Aoyagi
  8. Appl. Phys. Lett. v.80 no.3 InGaN self-assembled quantum dots grown by metalorganic chemical-vapor deposition with In as the antisurfactant J.Zhang;M.Hao;P.Li;S.J.Chua
  9. J. Appl. Phys. v.87 no.3 Selective fabrication of InGaN nanostructures by the focussed ion beam/metalorganic chemical vapor deposition process M.Nachab;M.Nozaki;J.Wang;Y.Ishikawa;Q.Fareed;T.Wang;T.Nishikawa;K.Nishino;S.Sakai