The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science (한국전자파학회논문지)

The Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science (한국전자파학회)
권호 표지

Method of Material Constants Extraction in Thin-Film Bulk Acoustic Resonator(FBAR) using Genetic Algorithm

유전자 알고리즘을 이용한 압전 박막 음향 공진기에서의 물질 상수 추출 기법

  • 이정흠 (한양대학교 전자통신전파공학과) ;
  • 정재용 (한양대학교 전자통신전파공학과) ;
  • 김형동 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부)
  • Published : 2003.04.01
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Abstract

In this paper, the method of material constants extraction in a thin-film bulk acoustic resonator(FBAR) using a genetic algorithm(GA) is proposed. The material constants are extracted from the input impedance of a FBAR by a GA optimizer. The characteristics of the FBAR input impedance affected by the material constants were studied to decide the fitness function for GA. As a result, the fitness was estimated by the series- and parallel -resonance frequencies and the FBAR bandwidth, as determined from the input impedance of the FBAR. A flowchart for the GA and a procedure fur the proposed extraction method are explained in detail, and the results of the material constants extraction are presented.

본 논문에서는 유전자 알고리즘을 이용한 FBAR(Thin-Film Bulk Acoustic Resonator)에서의 물질 상수 추출 기법을 제안하였다. 제안된 기법은 유전자 알고리즘을 적용하여 FBAR의 입력 임피던스로부터 물질 상수를 추출하는 방법이다. 유전자 알고리즘의 적합도 함수를 결정하기 위해 물질 상수 변화가 FBAR의 임피던스 특성에 미치는 영향을 알아본 후, FBAR의 입력 임피던스로부터 구해지는 직렬/병렬 공진 주파수와 FBAR 대역폭으로 적합도를 평가하였다. 유전자 알고리즘의 흐름도와 제안된 물질 상수 추출 과정에 대해 설명하였고, 본 기법의 타당성을 검증하기 위해 물질 상수 추출 결과를 제시하였다.

Keywords

References

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