Electrical & Electronic Materials (E2M - 전기 전자와 첨단 소재)

Volume 16 Issue 3
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Pages.28-35
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2003
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2982-6268(pISSN)
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2982-6306(eISSN)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)

권호 표지

강유전체 박막의 식각 기술 동향

임규태 (중앙대 전자전기공학부) ;
김동표 (중앙대 전자전기공학부) ;
김창일 (중앙대 전자전기공학부)

Published : 2003.03.01

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Abstract

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