공기청정기술 (Air Cleaning Technology)

한국공기청정협회 (Korean Air Cleaning Association)
권호 표지

초청정 클린룸(Cleanroom)에서의 새로운 오염 제어 기술

  • 황정성 (삼성전자메모리사업부 기술센터 생산기술팀 오염제어기술그룹 C/R기술파트)
  • 발행 : 2002.12.30
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