반도체디스플레이기술학회지
(Journal of the Semiconductor & Display Technology)
제1권1호
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Pages.57-63
/
2002
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1738-2270(pISSN)
한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
PFC 대체가스 에칭기술
나까무라모리타가
(기술연구조합, 초선단전자기술개발기구(ASET), 환경에칭기술개발실)
발행 : 2002.08.01
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