초록
비자성층을 사이에 둔 두 강자성층의 보자력 차이를 이용하여 거대자기저항특성을 나타내는 Ta/CoFe/Cu/NiFe/Ta 구조의 pseudo 스핀밸브를 DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제조하였다. Ta/CoFe/Cu/NiFe/Ta 구조에서 CoFe층의 두께 변화에 따른 자화 특성 및 자기저항 특성을 조사하였으며, 이 구조에서 CoFe층의 두께가 60 $\AA$일 때 자기저항비는 3.82%이고 CoFe층과 NiFe층 사이의 보자력 차이는 27.4 Oe이다. Ta/CoFe/Cu/NiFe/Ta 구조를 갖는 pseudo 스핀밸브에서 CoFe층과 NiFe층의 보자력 차이는 CoFe층의 두께가 20 $\AA$에서 40 $\AA$까지 증가함에 따라 증가하였으며 40 $\AA$ 이상에서는 감소하였다. 이와 같은 결과는 박막의 결정성 및 포화 자기변형(λ$_{s}$)의 변화에 의한 것으로 판단된다. Cu층과 NiFe층 사이에 CoFe층을 삽입한 Ta/CoFe/Cu/NiFe/Ta 구조에서 삽입층인 CoFe층의 두께 변화에 따른 자화특성 및 자기저항 특성을 조사한 결과 CoFe두께가 10$\AA$시 자기저항비가 6.7 %이며. 삼층막 구조 보다 자기저항비가 약 1.5배 이상 증가함을 알 수 있었다.
The pseudo spin valve with a structure of Tl/CoFe(t $\AA$)/Cu(30 $\AA$)/NiFe(50 $\AA$)/Ta, showing giant magnetoresistance properties by utilizing coercivity difference between only two soft ferromagnetic layers were produced by d.c UHV magnetron sputtering system. In pseudo spin valve Ta/CoFe/Cu/NiFe/Ta, the magnetic and magnetoresistance properties with change of CoFe thickness were investigated. When the thickness of CoFe was 60 $\AA$, a typical MR curve of pseudo spin valve structure was obtained, showing MR ratio of 3.8 cio and the coercivity difference of 27.4 Oe with a sharp change of hard layer switching. When the CoFe thickness was varied from 20 to 100 $\AA$, coercivity difference between two layers was increased to 40 $\AA$. and decreased to 100 $\AA$ gradually. It is thought the change in coercivity of hard layer was due to the crystallinity and magnetostriction of thin CoFe layer. In order to improve the MR property in CoFe/Cu/NiFe trier layer structure, CoFe layer with change of 2-20 $\AA$ thick was inserted between Cu and NiFe. When the thickness of CoFe was 10 $\AA$, MR ratio was 6.7％, showing excellent MR property. This indicates 50 ％ higher than that of CoFe/Cu/NiFe pseudo spin valve.
