Design and Fabrication of Power Controller for Temperature Control on Semiconductor Thermal Processing

반도체 열처리 공정을 위한 온도 조절기용 전력 제어장치의 설계 및 제작

A design method of a power controller for controlling the temperature adopted in RTP (rapid thermal processing) which uses the phase control method is presented. The power controller is fabricated by using the design method presented in this paper and is tested. As the results, the range of average voltage from the variable output is 0∼198.06 V and the control resolution is 48.356 mV (12 bit) at the range of the input signal (0∼10 V).

위상 제어방식을 이용한 급속열처리 장비의 온도조절기용 전력 제어장치를 설계하는 방법을 제시한다. 본 논문에서 제시된 설계 방법에 따라 전력제어장치를 제작·실험한 결과 가변입력제어신호 (0∼10 V)에 대해 가변출력평균전압(0∼198.06 V), 제어 분해능 48.356 mV(12 bit)를 얻었다.