초록
$CuInSe_2$ 단결정 박막은 수평 전기로에서 합성한 다결정을 증발원으로 하여, hot wall epitaxy(HWE) 방법으로 증발원과 기판(반절연-GaAs(100))의 온도를 각각 $620^{\circ}C$, $410^{\circ}C$로 고정하여 단결정 박막을 성장하였다. 단결정 박막의 결정성은 광발광과 이중결정 X-선 요동곡선(DCRC)으로 연구하였다. $CuInSe_2$ 단결정 박막의 운반자 농도와 이동도는 van der Pauw 방법으로 측정되었다. 또한 $CuInSe_2$ 단결정 박막의 C축에 수직하게 빛을 쬐었을 때 측정되여진 단파장대의 광전류 봉우리 갈라짐으로부터 결정장 갈라짐 $\Delta$Cr과 스핀 궤도 갈라짐 $\Delta$So(spin orbit splitting) 값을 구하였다. 광발광 측정으로부터 고품질의 결정에서 볼 수 있는 free exciton($E_x$)와 매우 강한 세기의 중성 받게 bound exciton($A^{\circ}$, X) 피크가 관찰되었다. 이때 중성 받게 bound exciton의 반치폭과 결합 에너지는 각각 7meV와 5.9meV였다. 또한 Haynes nile에 의해 구한 불순물의 활성화 에너지는 59meV였다.
The stochiometric mix of evaporating materials for the $CuInSe_2$single crystal thin films was prepared from horizontal furnace. To obtain the single crystal thin films, $CuInSe_2$compound crystal was deposited on thoroughly etched semi-insulating GaAs(100) substrate by the Hot Wall Epitaxy (HWE) system. The source and substrate temperature were $620^{\circ}C$ and $410^{\circ}C$, respectively. The crystalline structure of single crystal thin films was investigated by the photoluminescence and double crystal X-ray diffraction (DCXD). The carrier density and mobility of $CuInSe_2$single crystal thin films measured from Hall effect by van der Pauw method. From the photocurrent spectrum by illumination of perpendicular light on the c-axis of the $CuInSe_2$single crystal thin film, we have found that the values of spin orbit splitting $\Delta$So and the crystal field splitting $\Delta$Cr. From the photoluminescence measurement on $CuInSe_2$single crystal thin film, we observed free exciton ($E_x$) existing only high quality crystal and neutral bound exciton ($A^{\circ}$, X) having very strong peak intensity. Then, the full-width-at-half-maximum (FWHM) and binding energy of neutral donor bound exciton were 7 meV and 5.9 meV, respectivity. By haynes rule, an activation energy of impurity was 59 meV.
