Modeling and Control of Thermal Microsystems a Case Study

  • 성수완 (한국과학기술원 생명화학공학과 초미세 화학공정시스템 연구센터) ;
  • 박선원 (한국과학기술원 생명화학공학과 초미세 화학공정시스템 연구센터) ;
  • 윤대성 (삼성종합기술 Biochip Project Team and MEMS Lab) ;
  • 임근배 (삼성종합기술 Biochip Project Team and MEMS Lab)
  • 발행 : 2002.07.01

초록

키워드

참고문헌

  1. Anal. Chem v.73 Belgrader,P;Young,S;Yuan,B;Primeau,M;Christel,L.A.;Pourahmadi,F.;Northrup,M.A.
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  7. Ind. Eng. Chem. Res. v.35 Sung,S.W.;Lee,I.
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