02)553-0151

전기의세계

Volume 51 Issue 2
/
Pages.44-53
/
2002
/
1598-4613(pISSN)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)

권호 표지

극자외선 반사를 위한 마스크 및 광학계의 개발 동향

이승윤 (한양대학교 재료공학과) ;
안진호 (한양대학교 재료공학과) ;
손영수 (한국전자통신연구원)

Published : 2002.02.01

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Abstract

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