02)553-0151
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대한전기학회
http://www.kiee.or.kr
전기의세계
제51권2호
/
Pages.34-43
/
2002
/
1598-4613(pISSN)
대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
극자외선(EUV)리소그라피를 위한 광원 및 스테이지 기술
진윤식
(한국전기연구원) ;
박도영
(한국전기연구원) ;
전정우
(한국전기연구원) ;
정영민
(포항가속기연구소)
발행 : 2002.02.01
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