과제정보
연구 과제 주관 기관 : 대구산업정보대학
PECVD 방법으로 60 Hz 상용전원을 사용하여 발생한 아세틸렌 플라스마로부터 다이아몬드성 탄소박막을 제작하고 Raman 분광에 의하여 D(
The a-C:H films have been grown on the glass substrate by PECVD method, where plasma was generated with a 60 Hz line power source. The carbonization is checked from peak intensities of D(
연구 과제 주관 기관 : 대구산업정보대학