초록
터보분자펌프와 복합분자펌프의 배기성능을 나타내는 가장 중요한 항목인 배기속도 및 최대압축비와 함께 극한성능을 나타내는 임계배압을 현재 마련되어 있는 KS규격(안)을 준용하여 측정했다. 두 펌프의 성능이 어떤 점에서 차이가 나는지 비교하고 성능평가 절차에 대해 몇 가지 개선점을 제시했다.
The pumping speed and the maximum compression ratio as well as the critical backing pressure as main parameters representing normal and limiting performance of a turbomolecular pump and a compound molecular pump were measured basing on a draft KS of the acceptance test procedure. Characteristics of the molecular pumps of two different kinds were compared and some points for improving regulations of the test procedure were proposed.
