초록
본 연구에서는 솔젤법에 의해 최적의 유전특성을 갖는 $TiO_2$ 박막의 제작조건을 정한다. 이를 위해 최적의 조건으로 합성된 sol을 이용하여 박막을 제작한 후 박막의 유전율을 측정한다. 가수분해에 필요한 물의 양이 화학양론적인 양보다 적은 경우에는 직쇄상 구조를 갖는 투명 sol이 생성되고 많은 경우에는 cluster상 입자를 갖는 현탁 sol이 생성된다. 또한 박막의 유전율은 $120^{\circ}C$ 부근을 시작으로 지수함수적으로 증가하는 것을 알 수 있다.
In this study, synthesis condition of $TiO_2$ thin films which have optimal dielectric characteristics using sol-gel method was determined. Thin films were fabricated using sol which have optimal characteristics and their permittivity was measured. In case of the amount of water for hydrolysis smaller than that for stoichiometry, sol formed clear sol which have normal chain structure. On the contrary, in case of the amount of water for hydrolysis larger than that for stoichiometry, sol formed suspended sol which have cluster structure. The permittivity of thin films increased exponentially around $^{\circ}C$.