Quasi-quantitative estimation on backstreaming characteristics of a turbomolecular pump

터보분자펌프 역류특성의 준정량적 평가

Pumping characteristics of a turbomolecular pump are influenced by interrelations of the down-stream and upstream pumping speeds (transmission probabilityxaperture conductance), and of gas flow rates (pumping speedxentrance pressure) in two directions. The pumping speed, one of the most important items characterized the performance of a pump, is given by dividing the net flow rate, that is, the difference between the counter flow rates by the pressure at the pumping port. The maximum compression ratio is defined as the ratio of the downstream pumping speed to the upstream one. Because these directional characteristics affect each other and are functions of the pressures of both sides, it is difficult to distinguish the relevant factors. However, quasi-quantitative analyses on them can be done if considering carefully the results of measuring the pumping speed and the maximum compression ratio.

터보분자펌프의 배기성능은 회전자가 돌고 있을 때 순방향과 역방향으로의 배기속도(통과확률$\times$입구컨덕턴스) 및 두 방향으로의 기체 유량(배기속도$\times$입구 압력)의 상호관계에 의해 영향을 받는다. 펌프의 성능을 나타내는 가장 중요한 항목인 배기속도는 순유량, 즉 반대 방향으로의 유량의 차이를 흡기구 압력으로 나누어준 것이며, 최대압축비는 순방향 배기속도를 역방향 배기속도로 나누어준 것이다. 이들 방향성 고유특성은 서로 영향을 미치고 있으며 양쪽 입구 압력 모두의 함수이므로 관련 요소들을 서로 구분하기가 힘들지만 배기속도와 최대압축비의 측정결과를 잘 분석하면 준정량적인 해석이 가능하다.