전자공학회지 (The Magazine of the IEIE)

대한전자공학회 (The Institute of Electronics and Information Engineers)
권호 표지

Dry Etch 기술 동향 및 전망

  • 김진웅 (하이닉스반도체 메모리연구소)
  • 발행 : 2001.08.01
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초록

키워드

참고문헌

  1. Technology Trends in the VLSI Era, Robert N. Castellano Semiconductor Device Processing
  2. (주) 전자자료사 월간 반도체
  3. 한국반도체산업협회 반도체 산업
  4. 반도체 기술동향