초록
경화 전 상온 보관성이 우수하며 넓은 면적에 균일한 두께와 균일한 유전특성의 커패시터를 쉽게 형성할 수 있는 epoxy/$BaTiO_3$composite커패시터 필름을 제조하였다. 이 필름은 필름 형성특성과 가공성, 그리고 상온 보관성이 우수한 에폭시계 이방성 전도 필름(Anisotropic Conductive Film: ACF)용으로 개발된 레진을 기본으로 하고, 유전상수를 높이기 위한 충진제로 2종류의 $BaTiO_3$분말을 사용하였다. X선 회절을 통하여 두 분말의 결정구조와 이에 따른 유전상수의 변화를 살펴보았으며, 점포 측정을 통해 분산제의 양을 정하였다. 필름의 경화온도와 적정한 경화제의 양을 결정해주기 위해 differential scanning calorimeter (DSC)와 커패시터의 특성 분석을 통해 경화제 양에 따른 필름 및 커패시터 특성에 미치는 영향을 살펴보았다. 이 필름을 이용하여 두께 7 $\mu\textrm{m}$에서 10 nF/$\textrm{cm}^2$ (이때의 유전상수는 80)의 높은 전기용량을 가진 우수한 커패시터를 성공적으로 제작하였다.
Epoxy/$BaTiO_3$composite capacitor films with excellent stability at room temperature, uniform thickness, and electrical properties over a large area ware successfully fabricated. The composite capacitor films with good film formation capability and easy process ability were made from epoxy resin developed for ACF as a matrix and two kinds of $BaTiO_3$powders as fillers to increase the dielectric constant of the composite film. The crystal structure of the powders and its effects on dielectric constant of the films were investigated by X-ray diffraction (XRD). And the optimum amount of dispersant, phosphate ester, was determined by viscosity measurement of suspension. DSC and dielectric property tests were conducted to decide the right curing temperature and the optimum amount of the curing agent. As a result, the capacitors of 7 $\mu \textrm{m}$ thick film with 10 nF/$\textrm{cm}^2$ and low leakage current were successfully demonstrated.