마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제8권2호
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- Pages.1-7
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- 2001
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
가습된 $N_2$ /H$_2$ 혼합가스 분위기에서의 Kovar 산화 거동
The Oxidation of Kovar in Humidified $N_2$ /H$_2$ Atmosphere
초록
저열팽창성 금속인 Kovar표면을 유리와 접합하기에 적합한 spinel을 주상으로 하는 균일한 산화막을 형성할 수 있도록
In order to form a uniform oxidation layer of spinel phase on Kovar which helps the strong bonding in Kovar-to-glass sealing, the humidified