마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제8권1호
- /
- Pages.13-18
- /
- 2001
- /
- 1226-9360(pISSN)
- /
- 2287-7525(eISSN)
촉매 화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브의 합성 및 특성 연구
Study on the Preparation and Characteristics of Carbon Nanotubes Using Catalytic CVD
초록
본 연구에서 RF 플라즈마를 이용한 촉매 화학기상증착법에 의하여 탄소나노튜브를 성장시켰다. 탄소나노튜브는 Ni이 증착된 강화 유리 기판위에
Carbon nanotubes (CNTs) were grown on Ni-coated glass substrates by catalytic chemical vapor depositors (CVD) using RF plasma under
키워드