한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

  • 제11권4호
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  • Pages.324-328
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  • 2001
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  • 1225-0562(pISSN)
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  • 2287-7258(eISSN)
한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

강 기판위에 아크이온 플레이팅된 CrN박막의 산화

The Oxidation of CrN Films Arc-ion Plated on a Steel Substrate

  • 이동복 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술 연구센터) ;
  • 이영찬 (성균관대학교 플라즈마 응용표면기술 연구센터)
  • Lee, Dong-Bok (Center for Advanced Plasma Surface Technology Sungkyunkwan University) ;
  • Lee, Yeong-Chan (Center for Advanced Plasma Surface Technology Sungkyunkwan University)
  • 발행 : 2001.04.01
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초록

아크이온 플레이팅 장치를 이용하여 STD61강 기판 위에 이온질화 전처리를 행하거나 하지 않은 후, CrN 박막을 증착하고, 대기중 $700~900^{\circ}C$의 온도에서 40시간동안 이들에 대한 산화거동을 연구하였다. 산화거동은 열중량분석기, X선회절기, EDS, SEM을 이용하여 조사하였다. 증착된 CrN박막은 CrN과 $Cr_2$N의 두 상으로 구성되어 있었다. CrN박막은 보호적 $Cr_2$O$_3$층을 형성하여 기판을 산화로부터 보호하였다. 이온질화처리는 CrN박막의 내산화성에 영향을 주지 않았다.

CrN films were deposited onto STD61 steel substrates using an arc-ion plating apparatus, with and without ion-nitriding pretreatment, and their oxidation was studied between 700 and $900^{\circ}C$ for 40hr in air. The oxidation behavior was examined by thermogravimetric analyses, X-ray diffraction. EDS and SEM. The deposited CrN films consisted of CrN and $Cr_2$N phases. The CrN films increased the oxidation resistance of the substrate by forming a protective $Cr_2$$O_3$ layer. The ion-nitriding pretreatment has not affected the oxidation resistance of the CrN film.

키워드

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