초록
다층 박막에서의 빛의 반사와 흡수 및 열전달 방정식을 수치해석적으로 풀어 광기록매체용 다층 박막의 광학적 특성과 열전달 특성을 알아보고 이 두 특성들을 모두 고려하여 광기록에 적합한 레이저의 출력 및 지속시간, 다층 박막 구조 상수를 제시하였다. 그 결과 레이저는 650 nm 파장을 기준으로 출력 18mW, 지속 시간 60 nm가 적당하였으며 박막 구조 상수는 ZnS-SiO$_2$140nm, Ge-Sb-Te 20 nm, ZnS-SiO$_2$20~30nm, Al-alloy 100~150 nm가 적당하였다.
We studied thermal diffusion properties diffusion properties of multi-layered Ge-Sb-Te alloy thin films for optical recording media by solving the thermal equation. Based on the numerical analysis of optical energy distribution and absorption inside multi-layered films including temperature gradient and heat transfer simultaneously, we proposed the optimum parameters of the input laser power and the multi-layer structure as follow. i) Input laser power is 18 mW, ii) laser exposure time is 60 ns, iii) the thicknesses of the lower and the upper ZnS-SiO$_2$are 140 nm and 20~30 nm respectively, and iv) thickness of Ge-Sb-Te recording film is 20 nm.
