Recently, ozone is utilized in various fields and its needs are expanding. Therefore, so many ozone generation methods have been reported in the last year, its main purpose is to get the high ozone concentration and to improve the ozone yield one of them is a Co-axial cylinder-type ozonizer. In this paper, a new ozonizer, which is using radio-frequency power supply, is fabricated to investigate discharge characteristics and ozone generation characteristics in accordance wish variation of grip spacing of electrodes.
최근 오존은 그 효용성을 인정받아 다양한 분야에서 사용되고 있으며, 그 수요 또한 계속 증가하는 추세이다. 이에 다양한 종류의 오존발생기가 연구되어지고 있다. 이러한 오존발생기는 모두 고농도와 고수율을 얻는데 그 연구목표가 있다고 할 수 있으며, 그중 하나가 동축원통형 오존발생기이다. 본 논문에서는 고주파 전원을 사용하는 새로운 형태의 원통형 오존발생기를 제안하였으며, 오존발생기의 전극 간극의 변화에 따른 방전특성과 오존생성특성을 연구하였다.