Journal of the Korean Ceramic Society (한국세라믹학회지)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

The Characterization of Electromagnetic Shielding of $SiO_2$/ITO Nano Films with Transition Metal Ions

전이금속이 첨가된 $SiO_2$/ITO 나노박막의 전자파 차폐특성

  • 신용욱 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 김상우 (한국과학기술연구원 세라믹공정연구센타) ;
  • 손용배 (한국과학기술연구원 세라믹공정연구센타) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2001.01.01
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Abstract

전자파 차폐 및 반사방지용으로 사용되는 SiO$_2$/ITO 이층박막의 전기적 특성에 미치는 전이금속이온의 영향에 대해 고찰하고 전자파 차폐이론식으로부터 박막의 전도특성에 모사하여 효과적인 전자파 차폐효과를 얻기 위한 전도막을 설계하고자 하였다. ITO 상층부에 전이금속염을 첨가한 실리카 복합졸을 코팅하여 SiO$_2$/ITO 이층막을 제조한 결과 최저 표면저항치를 나타내는 첨가량은 전이금속의 종류에 따라 차이를 보이지만 Sn 및 Zn이 첨가된 졸로부터 형성된 박막은 $10^{5}$Ω/$\square$ 이하의 낮은 저항치를 보였으며 가장 안정된 표면저하을 나타내었다. 또한 전자파 차폐효과와 전도박막의 표면저항을 차폐이론식으로부터 모사한 결과 Zn과 Sn의 전이금속염이 첨가된 SiO$_2$/ITO 투명전도막은 TCO99에서 정한 전자파 차폐기준에 부합하였다.다.

Keywords

References

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