A Method for evaluating the temperature coefficient of a compound semiconductor energy gap by infrared imaging technique

적외선 영상 기법에 의한 화합물 반도체 에너지 갭의 온도 계수 측정 방법

  • Published : 2001.05.01

Abstract

온도에 따른 반도체 에너지갭의 변화를 디지털 영상처리를 이용해 직접 측정하는 적외선 영상기법을 제안하고 있다. 본 방법은 반도체 에너지갭의 온도계수를 경제적이고 간단하게 평가할 수 있도록 한다. 본 기법의 핵심 구성 부품은 다색광원기(Polychromator), 프레임 그래버가 내장된 컴퓨터 및 가변 온도 저온유지장치(Cryostat)이다. 방법의 타당성을 검증하기 위해 LEC 방법으로 제조한 GaAs에 시험적으로 행한 실험은 온도 계수가 이론 모델에서 구한 값과 전반적으로 잘 일치함을 보여 주었다.

Keywords

References

  1. J. Electronchem. Soc. v.122 no.8 The standard thermodynamic functions for the formation of electrons and holes in Ge, Si, GaAs, and GaP C.D.Thurmond
  2. Revue Phys. Appl. v.23 Infrared imaging and EL2 J.P.Fillard
  3. These de Doctorat(Ph.D. dissertation), U.S.T.L., Montpellier Contribution to the study of EL2 centre in semi-insulating GaAs by photoquenching of infrared transmission images S.J.Kang
  4. United States Patent, Patent No. 5,406,505 Method of and apparatus for measuring energy gap of semiconductor S.J.Kang;B.W.Kim;Y.S.Bae
  5. Phys. Rev. v.98 Interpolation scheme for energy bands in solids L.C.Allen
  6. Phys. Rev. v.112 Energy band interpolation scheme based on a pseudopotential J.C.Phillips
  7. Semiconductors(2nd ed.) R.A.Smith
  8. Korean Patent, Patent No. 0219761 Method of and apparatus for evaluating the temperature coefficient of a semiconductor energy gap S.J.Kang
  9. Appl. Phys. Lett. v.48 no.5 Distinction between near infrared optical absorption and light scattering in semi-insulating GaAs M.S.Skolnick;M.R.Brozel
  10. Jpn. J. Appl. Phys. v.27 no.3 The role of EL2 centres in infrared images of defects in GaAs materials J.P.Fillard;P.Montgomery;P.Gall;J.Bonnafe