Abstract
Novel pressure sensor using the resonance wavelength shift of single mode fiber-to-planar waveguide coupler, was demonstrated. It is found that the resonance wavelength shift due to refractive index variation of polymers by pressure occurs and its sensitivity depends on materials. We adopted symmetric structure of planar waveguide and remove the polarization dependence which is inevitable with side-polished fiber. AZ4562, AZl512 and THB-30 are used as planar waveguide materials and the resonance wavelength shifting by pressure was shown -0.008um/bar, 0.033nm/bar and 0.16nm/bar, respectively.
단일모드 광섬유와 평면도파로 결합기의 공진파장이 이동하는 현상을 이용한 새로운 형태의 압력센서를 구현하였다. 압력변화에 따른 폴리머 유효굴절률의 변화로 공진파장이 이동함을 관찰할 수 있었고 평면도파로 물질에 따라 센서의 감도를 조절할 수 있었다. 대칭적 구조의 평면도파로를 형성하여 광섬유의 측면연마 공정시 생기는 편광의존성을 제거하였다. 평면도파로 물질로는 AZ4562, AZ1512 그리고 THB-30이 사용되었으며 압력에 의한 공진파장의 이동은 각각 -0.008nm/bar, 0.033nm/bar, 0.16nm/bar로 나타났다.